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  • 产品名称: 纳米定位平台
  • 产品型号: NS-XY400-01纳米平台
  • 浏?#26469;?#25968;: 298

纳米位移系统的应用越来越广泛,从原子力显微镜、精密光学设备、半导体设备到各种高新技术行业。纳米位移系统能够产生和测量优于纳米(nm)的位移,整个系统包含3部分:纳米位移台、控制器和控制软件。

纳米位移台是一种机械装置,内部有一个或多个压电陶瓷,由压电陶瓷产生单轴或者多轴的运动。三英设计和制造的纳米位移台使用柔?#36234;?#38142;将技术将运动装置连接到固定基座上。纳米位移台内置精密传感器,闭环控制时,三英的传感器技术在保证线性度的前提下,可以实现纳米级别、亚纳米级别的分辨?#30465;?/span>

控制器为纳米位移台提供电源。在闭环控制时,纳米位移台内部的传感器为控制器提供位移数据。控制器周期性的处理位移数据并修正输出电压信号,从而使位移数据与指令数据相同。

三英提供简单易用的软件。纳米位移系统通常作为大型设备的一个部件,因而纳米位移系统与其他硬件良好配合是相当重要的。三英控制器对外通信方式有多种,常用的方式是通过BNC模拟信号(-10V~10V)控制纳米位移台的位移。还可以通过USB接口和数字IO实现与控制器的通信。三英控制器内部软件实现了基于PID算法、陷波滤波器的闭环控制,内部集成了正弦波、方波和三角波的波形发生器。

如有客户需求,三英可以对纳米位移运动控制系统进行量身定制,以提供及时、满意的技术支持与服务。

 


型号

NS-XY400-01

运动轴

X/Y

传感器类型

电容式

闭环行程

400/400μm

闭环分辨率

1.5/1.5nm

线性度

0.02/0.02%

无载谐振频率

250/250Hz

连接器类型

D-sub15

位移台材料

铝合金

最大负载

1.6kg

体积

170 x 170 x 31.3mm

         

          NS-XY400-01尺寸图

             
 

产品名称

纳米定位平台

产品型号

NS-XY400-01

交货期

 

 

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